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我們做的是晶體生長行業(yè)超高真空設(shè)備，需要在超高真空4.0E-11Torr環(huán)境內(nèi)把指甲大小，厚度約0.2mm產(chǎn)品加溫到800度左右，普通的發(fā)熱管，發(fā)熱片是不行的，如果有接觸到這類國外設(shè)備的朋友們，請(qǐng)?zhí)峁﹨⒖?br />由于眾所都知的原因，我們公司已承接到國家級(jí)的一個(gè)小技術(shù)項(xiàng)目開發(fā)，在國外這是幾十年前就有的技術(shù)，但國內(nèi)還處于空白狀態(tài)，我們需要從零開始奮起直追，希望得到以下技術(shù)參考，謝謝

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以下為個(gè)人想法，可能不對(duì)，請(qǐng)不要噴
鎢絲輻射加熱溫度升高時(shí)會(huì)析出氣體雜質(zhì)，那能不能像石英燈管一樣把發(fā)熱鎢絲和環(huán)境再加一個(gè)隔離層，隔離析出的雜質(zhì)，兩層之間控制壓力差，就可以不考慮強(qiáng)度，只考慮耐熱和透過輻射。
溫度檢測(cè)是否是因?yàn)榄h(huán)境輻射強(qiáng)度高，造成檢測(cè)的不穩(wěn)定，能調(diào)整檢測(cè)角度，或多個(gè)傳感器多角度檢測(cè)，計(jì)算平均值，或建立加熱強(qiáng)度，測(cè)量角度，環(huán)境真空度等之間的換算模型，來提高溫度的檢測(cè)精度
或是間隔檢測(cè)，檢測(cè)時(shí)遮擋加熱源，屏蔽干擾